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白光干涉仪主要测量原理及应用简介

更新时间:2022-01-07       点击次数:1358
   白光干涉仪的光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
  白光干涉仪的测量应用说明:
  以测量单刻线台阶为例,在检查仪器的各线路接头都准确插入对应插孔后,开启仪器电源开关,启动计算机,将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置,先手动调整载物台大概位置,对准白光干涉仪目镜的下方。
  在计算机上打开光学3D表面轮廓仪测量软件,在软件界面上设置好目镜下行的低点,再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离,调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳,此时设置好要扫描的距离。按开始按钮,光学3D表面轮廓仪可自动进行扫描测量,测量完成后,软件自动生成3D图像,测量人员可以对3D图像进行数据分析,获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。
  白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高效率检测。*的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

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