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三维形貌仪的几大校准方法解析

更新时间:2021-06-21       点击次数:2060
   三维形貌仪是一种科学仪器,是用来侦测并分析现实世界中物体或环境的形状(几何构造)与外观数据(如颜色、表面反照率等性质)。可分为接触式、非接触式、激光等类型。
  三维形貌仪的应用有三维表面轮廓测量、粗糙度测量、膜的台阶高度测量、空间分析和表面纹理表征、曲率测量、二维薄膜应力测量、表面质量和缺陷检测等。
  三维形貌仪的几大校准方法:
  1.三维形貌校准
  这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关,所以称为三维校准。主要包括对干涉物镜参考面形貌误差的标定;以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。
  2.二维光强校准
  这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。设备有一些功能,可以增强用户对样品表面观察效果。比如在某观测模式下,可以自动去除视场中黑白条纹,更清楚地观测表面纹理;真彩模式可以复现表面彩色信息。
  由于以上功能相关标定都只涉及“光强”,不涉及到形貌高度,所以称为二维光强校准。
  3.横向校准
  这一校准是为了标定在当前设置下,每个像素在横向上代表的尺寸大小。
  三维形貌仪很多测试结果和分析设置,如沟槽宽度,孔径尺寸,坡度斜率,空间滤波,拼接测量,都基于或和横向尺寸相关。对于这些结果和分析,横向尺寸的标定是至关重要的。

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