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3D形貌仪的成像散光问题概述

更新时间:2021-08-23       点击次数:1378
   3D形貌仪已被用于实验室、大学和行业使用,组合多种成像模式,能够在同一测试平台上运行多种测试,只需单击按钮,就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势,并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析,也可以减少维护成本,从而提高效率。
  3D形貌仪利用白光干涉扫描技术为基础研制而成,它可以达到纳米级的检测精度,并可快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测,其主要用途是用于成品的质量管理,确保良品合格率。可广泛用于各类精密工件表面质量要求高的如:半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量,除了3D形貌仪,没有其它的仪器设备可以达到其精度要求。
  成像散光问题一直影响3D形貌仪测量准确度的因素之一,这种现象如何进行处理呢?
  实际操作中启动开关电源后,如果大屏幕上没有聚焦,分辨率较低,我们称之为“散光问题”。此时,无论如何更新物镜,或者改变测量角度,大屏幕上的画面还是一样的。一开始这种情况,很多人都不明白,以为镜头上有污垢造成的。
  对于以上问题先确认一下是否是形貌仪的散光问题导致的。如果确定是散光故障则很有可能是LED不聚光方式引起的,更换LED后重启工作电源可以查看相关问题还是否存在,一般情况都差不多是这个原因。
  其次拆开镜框,看看玻璃镜面是否平整。如果是均匀的,不会造成散光,但是不均匀会导致散光。
  通过上述两种方法,一般可解决好仪器的散光问题。

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