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info@dataphys.com.cn点击次数：1346 更新时间：2019-03-21
小测量半径：2µm
小测量楔角：20°
小测量粗糙度（Ra）：80nm
小测量粗糙度（Sa）：50nm
大扫描高度：25mm
大操作距离：17.5（5×物镜）
大扩展视野范围：2500mm2
垂直分辨率：20nm
大单一方向测量范围：50mm
位移范围（X/Y）:50mm×50mm(自动调节)
位移范围（Z）:130mm(26mm自动调节)
