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刃口测量仪技术参数

更新时间:2019-03-21       点击次数:1598

小测量半径:2µm

小测量楔角:20°

小测量粗糙度(Ra):80nm

小测量粗糙度(Sa):50nm

大扫描高度:25mm

大操作距离:17.5(5×物镜)

大扩展视野范围:2500mm2

垂直分辨率:20nm

大单一方向测量范围:50mm

位移范围(X/Y):50mm×50mm(自动调节)

位移范围(Z):130mm(26mm自动调节)

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