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info@dataphys.com.cn点击次数:1346 更新时间:2019-03-21
小测量半径:2µm
小测量楔角:20°
小测量粗糙度(Ra):80nm
小测量粗糙度(Sa):50nm
大扫描高度:25mm
大操作距离:17.5(5×物镜)
大扩展视野范围:2500mm2
垂直分辨率:20nm
大单一方向测量范围:50mm
位移范围(X/Y):50mm×50mm(自动调节)
位移范围(Z):130mm(26mm自动调节)