1.InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。

2.即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率。

3.新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合。

4.LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。

5.nfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。

6.测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等

7.高分辨，高可重复性和可溯源。