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1.InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。
2.即使对于复杂样品表面,仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率。
3.新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合。
4.LED环形灯的设计,使表面测量的范围几乎不受限制。
5.nfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。
6.测量简单且自动化程度高,如自动更换物镜等
7.高分辨,高可重复性和可溯源。
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